FI20162-1
ASTEX UV LAMP SYSTEM FI20162-1 컨트롤러
- 제조사
- ASTEX (MKS Instruments)
- 품목
- UV LAMP (조사기)
- 모델명
- FI20162-1
- 게시일
- 2026-10-21
Symptom
입고 시 고장 증상
- 출력 불안정
- 가동 중 Interlock(인터락) 발생
Repair Process
수리 과정
- 01내외부 오염물과 분진 등 초음파 세척 및 정밀 폴리싱
- 02마그네트론 헤드(Mag Head) 교체
- 03절연 재킷 교체
- 04HV 커넥터 및 배선 리뉴얼
- 05Diode/Sensing 회로 수리
- 06냉각 라인 화학 세정제 수냉 관로 스케일 완전 제거
- 07누수 유무 'Zero' 확인
동일 모델 · 동일 증상 문의
사례 번호를 함께 알려주시면 진단이 빨라집니다. 진단은 무료로 진행합니다.